软件标签：SEMulator3D
SEMulator3D破解版是一个强大的 3D 半导体和 MEMS 工艺建模平台，提供广泛的技术开发能力。从输入设计数据开始，SEMulator3D 遵循集成工艺流程描述来创建制造工厂中创建的复杂 3D 结构的虚拟等效物。SEMulator3D 包括用于创建工艺流程描述、绘制或导入 2-D 掩模、从 2-D 掩模和工艺描述创建 3D 模型以及可视化 3D 模型的所有必要工具。用户可以探索设计变化；对 SEMulator3D 几何图形执行 3D 设计规则检查 (DRC)，并对模型进行网格化以导出到其他仿真平台。最新破解版下载，含破解文件和学科组文件，欢迎有需要的朋友下载体验！
2、安装程序，运行SEMulator3D_8.000.exe安装软件，勾选我接受许可证协议条款
3、安装位置，默认为C:\Coventor\SEMulator3D8\（此处修改以下同）。
功能特色
1、核心流程建模
使用独特的物理驱动3D建模技术，SEMulator3D建模引擎可以对各种单元过程步骤进行建模。每个工艺步骤只需要几个易于理解和校准的几何和物理输入参数。就像在实际晶圆厂中一样，上游单元工艺参数（如沉积保形性、蚀刻各向异性、选择性等）相互影响，并以复杂的方式设计数据以影响最终器件结构。
2、高级流程建模
为了正确预测完整工艺流程的最终结果，必须对每个工艺步骤进行准确建模。SEMulator3D高级工艺建模向标准库中添加了额外的工艺步骤，例如MultiEtch和Selective Epitaxy。这些步骤为等离子体（干法）蚀刻、选择性外延生长等提供了更准确的建模。
3、自动化
SEMulator3D Automation是一个电子表格驱动的自动化引擎，可实现大规模并行过程变化研究。通过自动构建一系列具有特定工艺参数变化的SEMulator3D模型，SEMulator3D Automation可以对工艺公差、产量或跨晶圆均匀性进行虚拟研究。
4、分析
SEMulator3D分析模块直接在SEMulator3D内自动进行过程变化的统计分析。新的Analytics用户界面使用各种技术（包括Monte-Carlo过程变化）指导用户设计、执行和分析大型统计实验。自动多元回归用于识别重要参数并根据它们对过程变化的影响对它们进行排名。
5、设备分析
作为电气分析模块的一部分，器件分析功能可以直接在SEMulator3D中提取晶体管的电气特性，并探索晶体管工艺对器件性能的可变性。
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6、电气分析
电气分析模块增加了强大的电阻和电容提取功能，以加深对工艺和设计敏感性的理解。电气分析模块可以直接在SEMulator3D中计算导体网络的电阻和网络的电容，为3D建模和电气功能验证提供单一平台。
7、可视化
SEMulator3D Viewer在流程的每一步都显示虚拟设备模型的3D渲染。逐步可视化有助于理解过程故障模式和其他复杂的过程现象。可以在3D模型的任何位置进行横截面和尺寸测量。SEMulator3D Viewer具有许多高级功能，包括流程步骤的自动动画和自动导出到Microsoft PowerPoint。
8、以及更多...
网格生成以导出为标准网格格式
一整套布局查看和编辑工具
通过完整的Python脚本API进行定制
一个新的流程建模功能库，用Python编写
示例工艺技术文件
安装激活教程
1、在本站下载并解压，如图所示2、安装程序，运行SEMulator3D_8.000.exe安装软件，勾选我接受许可证协议条款
3、安装位置，默认为C:\Coventor\SEMulator3D8\（此处修改以下同）。
4、安装完成，将patcher.exe放到安装目录C:\Coventor\SEMulator3D8\bin\NT40_x64\运行，等待完成即可
5、将license.lic放到C:\Coventor\SEMulator3D8\bin\目录下，运行SEMulator3D 8，提示需要license，输入C:\Coventor\SEMulator3D7\bin\license.lic。
闪电小编说明：
3D 半导体和 MEMS 工艺建模平台，提供广泛的技术开发能力。基于高效的物理驱动体素建模技术，SEMulator3D 具有独特的建模完整工艺流程的能力。提供了一个工艺模型库，其中包括沉积、蚀刻、光刻、CMP 和生长。其他选项包括更高级的模型，包括选择性外延生长、堆叠材料的多重蚀刻、可见度受限的沉积和蚀刻，以及与图案相关的蚀刻。虚拟计量和 3D 设计规则检查 (DRC) 功能作为自动化软件包的一部分提供，可对生成的结构进行精确计量测量，在整个构建区域进行设计规则检查，以及运行大批量作业的能力，从而实现自动参数变化研究。SEMulator3D Analytics 软件包中提供了更高级的过程变化模型，包括蒙特卡罗分析。在体素建模引擎的框架内也可以提取电阻和电容。这可以在非常大的多网络布局上快速提取 R 和 C。网格导出功能也可用于导出到第三方仿真工具。
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